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经营范围
发明名称
Cleaning liquid and cleaning method
摘要
申请公布号
EP1628336(B1)
申请公布日期
2012.01.04
申请号
EP20050107342
申请日期
2005.08.10
申请人
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
发明人
SHIMADA, KENJI;ABE, KOJIRO;OHTO, MASARU;MATSUNAGA, HIROSHI
分类号
H01L21/311;H01L21/3213
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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