发明名称 Cleaning liquid and cleaning method
摘要
申请公布号 EP1628336(B1) 申请公布日期 2012.01.04
申请号 EP20050107342 申请日期 2005.08.10
申请人 MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 发明人 SHIMADA, KENJI;ABE, KOJIRO;OHTO, MASARU;MATSUNAGA, HIROSHI
分类号 H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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