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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR101100836(B1) 申请公布日期 2012.01.02
申请号 KR20090115409 申请日期 2009.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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