| 主权项 |
一种研磨装置，用以研磨一待研磨件，该研磨装置包含：一定盘，具有一受压面及一承载面，且该受压面的边缘形成一导圆角；一研磨垫，固定于该承载面；一挡块，设置于该定盘之边缘外侧，其中该挡块之顶面靠近该定盘的边缘形成另一导圆角，且该定盘之受压面及该挡块之顶面位于同一水平面；一正压气垫，压制于该受压面；一垫片，设置于该受压面与该正压气垫间，且延伸覆盖至该挡块之部分；以及一固定件，穿设该挡块并锁固于该定盘之边缘。如请求项1所述之研磨装置，其中包含一逆压气垫，设置于该定盘边缘。如请求项1所述之研磨装置，其中该固定件为螺合件。如请求项1所述之研磨装置，其中该挡块之材质硬度，小于该定盘之材质硬度。一种研磨装置，用以研磨一待研磨件，该研磨装置包含：一定盘，具有一受压面及一承载面；一研磨垫，固定于该承载面；一挡块，设置于该定盘之边缘外侧；一正压气垫，设置于该受压面及挡块上方；及一垫片，设置于该受压面与该正压气垫间，且延伸覆盖至该挡块之部分。如请求项5所述之研磨装置，更包含一逆压气垫，设置于该定盘边缘。如请求项5所述之研磨装置，其中该受压面及该挡块之顶面位于同一水平面。如请求项5所述之研磨装置，其中该受压面的边缘及该挡块之顶面靠近该定盘的边缘分别形成一导圆角。如请求项5所述之研磨装置，更包含一固定件，穿设该挡块并锁固于该定盘之边缘。如请求项9所述之研磨装置，其中该固定件为螺合件。如请求项5所述之研磨装置，其中该挡块之材质硬度，小于该定盘之材质硬度。一种研磨装置之组合方法，该方法包含：提供一定盘，该定盘具有一受压面及一承载面；固定一研磨垫于该承载面；设置至少一挡块于定盘之边缘；设置一正压气垫于该受压面及该挡块之上；及隔离该正压气垫延伸于该定盘边缘外的部分，使该定盘边缘不嵌入该正压气垫。如请求项12所述之方法，其中隔离该正压气垫延伸于该定盘边缘外之步骤包含设置一垫片于该受压面及该气垫间，且以该垫片覆盖该挡块之部分。如请求项12所述之方法，其中隔离该正压气垫延伸于该定盘边缘外之步骤包含调整该挡块相对于该定盘之位置，使该受压面及该挡块之顶面位于同一水平面。如请求项12所述之方法，其中隔离该正压气垫延伸于该定盘边缘外之步骤包含加工该定盘及该挡块，使该受压面的边缘及该挡块之顶面靠近该定盘的边缘分别形成一导圆角。如请求项12所述之方法，其中隔离该正压气垫延伸于该定盘边缘外之步骤包含以一固定件穿设该挡块并锁固于该定盘之边缘。如请求项13所述之方法，其中更包含一步骤，设置一逆压气垫于该定盘边缘。 |
