| 主权项 |
一种夹持器，应用于一传送机构中，该传送机构用以传送一晶圆，该传送机构包含一横杆，该夹持器包含：一固定件，固定至该横杆，该固定件包含两滑槽，邻近该固定件的底部，并分别平行地设置于该固定件的两侧，其中每一该等滑槽包含一入口及一挡止部，分别位于每一该等滑槽的两端；以及一承载件，包含：一凹槽，位于该承载件的顶部并连通该承载件的两对立侧，该凹槽具有相互平行的两内壁，每一该等内壁具有一凸块，其中该承载件适于以每一该等凸块由对应之该入口进入对应之该滑槽中并抵靠对应之该挡止部而组装至该固定件；以及一第一夹爪，位于该承载件的一第一侧壁，其中该晶圆的边缘适于受该第一夹爪承载。如请求项1所述之夹持器，其中该固定件进一步包含一定位元件，设置于该固定件的底部，该承载件具有一凹陷，位于该凹槽的底部，该定位元件于该承载件组装至该固定件期间与该凹槽的底部呈干涉配合，并于每一该等凸块抵靠对应之该挡止部时容纳于该凹陷中。如请求项2所述之夹持器，其中该定位元件包含：一本体，设置于该固定件中并具有一容纳槽，该容纳槽具有一开口，位于该固定件的底部；一弹性件，容纳于该容纳槽中，并连接该容纳槽的底部；以及一定位珠，连接该弹性件，并部份地露出该开口，该定位珠适于受压而朝向该容纳槽的底部推挤该弹性件。如请求项3所述之夹持器，其中该定位元件为一定位珠螺丝(Ball-Ended Thrust Screw)。如请求项2所述之夹持器，其中该固定件具有一通道，由该固定件的顶部贯穿至该固定件的底部，该定位元件由该固定件的顶部经由该通道组装至该固定件的底部。如请求项1所述之夹持器，其中该固定件包含一锁固孔，该固定件适于藉由一锁固元件经由该锁固孔以锁固至该横杆。如请求项1所述之夹持器，其中该等滑槽大体上平行该横杆。如请求项1所述之夹持器，其中该承载件进一步包含一第二夹爪，位于该承载件的一第二侧壁，该第二侧壁平行该第一侧壁，该晶圆的边缘适于受该第二夹爪承载。如请求项8所述之夹持器，其中该第一侧壁与该第二侧壁平行该等内壁，该承载件可选择性地以该第一侧壁面向该传送机构而组装至该固定件，或以该第二侧壁面向该传送机构而组装至该固定件。如请求项1所述之夹持器，其中该固定件的材料包含金属材料，并且该承载件的材料包含高分子材料。 |
