轻质晶圆环

主权项

一种轻质晶圆环，其具有一呈环状之框体，该框体系以一玻璃纤维增强尼龙材质构成，其中该框体之外缘具有：至少一凹槽；以及至少一平坦区。如申请专利范围第1项所述之轻质晶圆环，其中所述框体之厚度为1.5mm至2.5mm。如申请专利范围第1项所述之轻质晶圆环，其中该玻璃纤维增强尼龙材质之玻璃纤维含量为尼龙之30%。如申请专利范围第1项所述之轻质晶圆环，其中该玻璃纤维增强尼龙材质之玻璃纤维含量为尼龙之15%至40%。