| 主权项 |
一种经组态以依据一设定点数据图表移动一组件之系统，该设定点数据图表包括该组件之复数种目标状态，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该系统包含：一位移器件，其经组态以依据该设定点数据图表移动该组件；一资料储存器件，其包含一前馈资料之资料库；一信号产生器，其经组态以(a)识别对应于该前馈资料之资料库中的项目之该设定点数据图表的复数个时间片段，及(b)存取该等项目以构成一前馈信号；及一前馈控制系统，其经组态以基于由该信号产生器构成之该前馈信号来控制该位移器件。如请求项1之系统，其中该复数种目标状态包括该组件之目标位置、该组件之目标速度、及该组件之目标加速度中至少一者。如请求项1之系统，其中该信号产生器包含：一触发侦测系统，其经组态以侦测对应于在该前馈资料之资料库中的项目之该设定点数据图表的分段；及一输入器件，其经组态以当藉由该触发侦测系统侦测出一对应分段时，将该等项目插入至该前馈信号中。如请求项1之系统，其中该资料库中之该等项目包括用于以下类型设定点数据图表分段中至少一者的前馈资料：一恒定速度数据图表、一恒定加速数据图表、一恒定减速度数据图表、一急冲阶段、一急拉阶段、及特征为位置相对于时间之较高阶导式的有限值之数据图表。如请求项1之系统，其中该资料库中之该等项目的至少一子集系基于先前校准测量。如请求项5之系统，其中该等校准测量包含反覆学习资料。一种经配置以自一图案化器件将一图案投影至一基板上之微影投影装置，其包含：(a)一可移动支撑件，其经组态以固持该图案化器件；及(b)一系统，其经组态以依据一包括该可移动支撑件之复数种目标状态的设定点数据图表移动该可移动支撑件，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该系统包含(i)一位移器件，其经组态以依据该设定点数据图表移动该可移动支撑件；(ii)一资料储存器件，其包括一前馈资料之资料库；(iii)一信号产生器，其经组态以(1)识别对应于该前馈资料之资料库中的项目之该设定点数据图表的复数个时间片段，及(2)存取该等项目以构成一前馈信号；及(iv)一前馈控制系统，其经组态以基于由该信号产生器构成之该前馈信号控制该位移器件。一种经配置以自一图案化器件将一图案投影至一基板上之微影投影装置，其包含：(a)一可移动支撑件，其经组态以固持该基板；及(b)一系统，其经组态以依据一包括该可移动支撑件之复数种目标状态的设定点数据图表移动该可移动支撑件，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该系统包含(i)一位移器件，其经组态以依据该设定点数据图表移动该可移动支撑件；(ii)一资料储存器件，其包括一前馈资料之资料库；(iii)一信号产生器，其经组态以(1)识别对应于该前馈资料之资料库中的项目之该设定点数据图表的复数个时间片段，及(2)存取该等项目以构成一前馈信号；及(iv)一前馈控制系统，其经组态以基于由信号产生器构成之该前馈信号控制该位移器件。一种依据一设定点数据图表移动一组件的方法，该设定点数据图表包括该组件之复数种目标状态，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该方法包含：比较该设定点数据图表之复数个时间片段与一前馈资料之资料库中的项目；识别用于其之前馈资料存在于该资料库中的时间片段；撷取用于该等已识别时间片段之该前馈资料；使用该已撷取之前馈资料来构成一前馈信号之至少部分；及依据基于该前馈信号之该设定点数据图表来控制该组件之一移动。如请求项9之方法，其中该资料库中之该等项目的至少一子集系基于先前校准测量。如请求项10之方法，其中该等校准测量系藉由以下获得：依据一设定点数据图表使用一前馈信号移动该组件；在该移动期间测量该组件之一状态，且决定在该测量状态及一藉由该设定点数据图表定义之该组件的一对应目标状态之间的一差；依据该差精化该前馈信号；重覆该移动、测量及精化直至该差系低于一目标限定值；及将该已精化前馈信号储存于前馈资料的该资料库中以对应于该相关设定点数据图表时间片段。一种器件制造方法，其包含：(a)自一图案化器件将一图案投影至一基板上；及(b)移动一可移动支撑件，该可移动支撑件经组态以依据一包括该可移动支撑件之复数种目标状态的设定点数据图表固持该图案化器件，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该移动包含(i)比较该设定点数据图表之复数个时间片段与在一前馈资料之资料库中的项目；(ii)识别用于其之前馈资料存在于该资料库中的时间片段；(iii)撷取用于该等已识别时间片段之该前馈资料；(iv)使用该已撷取前馈资料来构成一前馈信号之至少部分；及(v)依据基于该前馈信号之该设定点数据图表来控制该可移动支撑件之一移动。一种器件制造方法，其包含：(a)自一图案化器件将一图案投影至一基板上，及(b)移动一可移动支撑件，该可移动支撑件经组态以依据一包括该可移动支撑件之复数种目标状态的设定点数据图表固持该基板，该复数种目标状态之各者欲实质上在目标时间的一对应序列中之一处达到，该移动包含(i)比较该设定点数据图表之复数个时间片段与在一前馈资料之资料库中的项目；(ii)识别用于其之前馈资料存在于该资料库中的时间片段；(iii)撷取用于该等已识别时间片段之该前馈资料；(iv)使用该已撷取前馈资料来构成一前馈信号之至少部分；及(v)依据基于该前馈信号之该设定点数据图表来控制该可移动支撑件之该移动。 |
