| 主权项 |
一种致动器驱动系统，其包括：第一致动器，具有第1可动部、以及由电性互相绝缘的第1电极部s而构成且驱动该第1可动部的第1驱动电极；第二致动器，具有第2可动部、以及由电性互相绝缘的第2电极部s而构成且驱动该第2可动部的第2驱动电极；温度检测电路；以及生成驱动电压之电压生成电路，其中藉由对该第1及第2电极部s选择性地施加该驱动电压，以分别控制所作用于该第1及第2可动部之静电力的大小，该第1电极部s之一与该第2电极部s之一共通连接，且根据该温度检测电路的输出信号，来决定施加该驱动电压的该第1及第2电极部s的数量。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中于拉入前后被施加有该驱动电压的该第1及第2电极部s的数量不同。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中非选择的该第1及第2电极部的电压是与其对向之该第1及第2可动部的电压相同。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中非选择的该第1及第2电极部成为浮动状态。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中该第1及第2电极部s的对向于该第1及第2可动部之部分的面积彼此大致相等。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中该第1及第2电极部s的对向于该第1及第2可动部之部分的面积二元地变化。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中该第1及第2致动器分别构成二值可变电容以及开关中之一。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中被施加有该驱动电压的该第1及第2电极部s的数量依存于形成有该第1及第2致动器之晶片的温度而变化。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中根据该温度检测电路的输出信号来决定该驱动电压的值。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其更包括记忆电路，其中根据非挥发性地记忆于该记忆电路之资料，来决定驱动该第1及第2可动部的驱动电极的有效面积。如申请专利范围第10项所述之致动器驱动系统，其中使该驱动电压伴随该温度的上升而降低。如申请专利范围第1项所述之致动器驱动系统，其中该第1及第2致动器是分别自静电致动器、热致动器、压电致动器、以及电磁致动器之群组中选择的一个致动器。如申请专利范围第10项所述之致动器驱动系统，其进而包括执行该第1及第2致动器之测试的控制电路，且记忆于该记忆电路之该资料基于该测试结果而作成。如申请专利范围第13项所述之致动器驱动系统，其中该控制电路将该第1及第2驱动电极之该有效面积设定为最小值，并且施加该驱动电压，以判断是否拉入，于并未拉入时，增加该第1及第2驱动电极的有效面积，再次施加该驱动电压，以判断是否拉入，于拉入时，将此时的该有效面积写入至该记忆电路中。如申请专利范围第1项所述之致动器，其进而包括对向于该第1及第2可动部而配置的信号线，其中该第1及第2电极部s各别相互绝缘的方向是该信号线延伸的方向。 |
