发明名称 PROCEDE DE SCELLEMENT DE DEUX ELEMENTS PAR THERMOCOMPRESSION A BASSE TEMPERATURE
摘要 Procédé de scellement entre deux éléments (100, 102), comportant les étapes de : - réalisation d'un premier matériau de scellement (104) sur une face d'un premier desdits deux éléments, - réalisation d'un second matériau de scellement (108), différent du premier matériau de scellement, sur une face d'un second desdits deux éléments, - solidarisation desdits deux éléments par thermocompression des matériaux de scellement l'un contre l'autre à une température Tc inférieure aux températures de fusion des premier et second matériaux de scellement et inférieure à environ 300°C, dans lequel les premier et second matériaux de scellement sont choisis tels qu'ils comportent chacun au moins une phase apte à réagir avec la phase de l'autre matériau de scellement par interdiffusion des constituants des phases des matériaux de scellement lors de l'étape de solidarisation.
申请公布号 FR2961945(A1) 申请公布日期 2011.12.30
申请号 FR20100055014 申请日期 2010.06.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 GARNIER ARNAUD
分类号 H01L21/603;B81C3/00 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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