发明名称 DISPOSITIF DE TRAITEMENT POUR BOITES DE TRANSPORT ET DE STOCKAGE
摘要 Un dispositif de traitement pour boîtes de transport et de stockage selon l'invention comprend une pluralité de modules de dépollution (24-27) supportés par un châssis commun (100) et disposés selon une rangée d'au moins une colonne (23c) de modules superposés les uns au-dessus des autres. Chaque module de dépollution (24-27) comprend ses propres moyens de pompage (8) ayant au moins une pompe primaire (8a) logée dans un compartiment de pompage primaire (8c) décalé longitudinalement par rapport à la chambre de dépollution (5). L'accès aux modules de dépollution (24-27) se fait par des portes d'accès latérales qui sont toutes orientées selon un même côté d'accès et qui sont sollicitées par des moyens d'actionnement assurant leurs fermeture et ouverture automatiques. Une zone latérale de transfert est prévue selon le côté d'accès, et comprend un robot (29) apte à déplacer les boîtes de transport et de stockage entre un poste frontal de chargement-déchargement (23a) et les chambres de dépollution (5) de chacun des modules de dépollution (24-27). On optimise ainsi l'encombrement et le débit du dispositif de traitement (23).
申请公布号 FR2961946(A1) 申请公布日期 2011.12.30
申请号 FR20100055187 申请日期 2010.06.29
申请人 ALCATEL LUCENT 发明人 RIOUFRAYS SYLVAIN;GODOT ERWAN;FAVRE ARNAUD
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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