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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR101101164(B1)
申请公布日期
2011.12.30
申请号
KR20090023849
申请日期
2009.03.20
申请人
发明人
分类号
H05H1/34;H01L21/3065
主分类号
H05H1/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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