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发明名称 MULTI-GRAY SCALE PHOTOMASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PATTERN TRANSFER METHOD
摘要
申请公布号 KR101100481(B1) 申请公布日期 2011.12.29
申请号 KR20090015622 申请日期 2009.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F1/00;G03F1/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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