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经营范围
发明名称
Fan Operation Monitoring Apparatus of Fan Filter Unit for Clean Room
摘要
申请公布号
KR101100040(B1)
申请公布日期
2011.12.29
申请号
KR20090063453
申请日期
2009.07.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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