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发明名称 METHODS AND SYSTEMS FOR PROCESSING A SUBSTRATE USING A DYNAMIC LIQUID MENISCUS
摘要
申请公布号 IL209737(A) 申请公布日期 2011.12.29
申请号 IL20100209737 申请日期 2010.12.02
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;JOHN M. DE LARIOS;JAMES P. GARCIA;CARL A. WOODS;MICHAEL RAVKIN;FRED C. REDEKER 发明人 JOHN M. DE LARIOS;JAMES P. GARCIA;CARL A. WOODS;MICHAEL RAVKIN;FRED C. REDEKER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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