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Es handelt sich bei dieser Erfindung um eine Vorrichtung für die Röntgenstrahlanalyse mit klassifizierten Wellenlängen, bei welcher eine in einer Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung erzeugte charakteristische Röntgenstrahlung auf eine Probe gestrahlt, und diese charakteristische Röntgenstrahlung, die von der Probe gebeugt wird, mittels Röntgenstrahldetektionsvorrichtung detektiert wird. Die oben genannte Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung besteht aus Metallen mit unterschiedlichen Atomnummern, und so werden von diesen Metallen mehrere charakteristische Röntgenstrahlungen mit unterschiedlichen Wellenlängen erzeugt, wobei von einem Metall je eine charakteristische Röntgenstrahlung mit einer Wellenlänge erzeugt wird. Die oben genannte Röntgenstrahldetektionsvorrichtung besteht aus mehreren Pixel, welche mehrere charakteristische Röntgenstrahlungen empfangen und die Pulssignale für jede charakteristische Röntgenstrahlung mit einer Wellenlänge ausgeben. Dabei weist jede Pixel einen Klassifikationsschaltkreis auf. Der Klassifikationsschaltkreis ist ein Schaltkreis, der die Ausgangssignale der Pixel nach Wellenlängen des Röntgenstrahls klassifiziert und ausgibt. An jeder der Pixel 12 werden die Intensitäten der Röntgenstrahlen je Wellenlänge detektiert. Somit ist es möglich, die Messdaten basierend auf den Röntgenstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen bei einmaliger Messung gleichzeitig zu erhalten. Dabei werden die Messdaten der Beugungen von den Röntgenstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen auf der Gesamtfläche der Lichtempfangsfläche des 2D-Detektors empfangen.
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