一种镀膜装置

摘要

本实用新型为一种镀膜装置，其包括：一个壳体、一个超音波清洗部及一个薄膜成形部。该超音波清洗部用以清洗一个基板；该薄膜成形部具有一个置放空间及一个温度控制部；该置放空间装设一个预定溶液，用以浸泡该基板而使该预定溶液于该基板表面链结，形成一个分子薄膜；而该温度控制部可控制该预定溶液的温度；而该时间控制部用以控制该超音波清洗部及该温度控制部的运作时间；故本实用新型兼具可控制薄膜成形温度及可进行时间的设定等优点及功效。

主权项

一种镀膜装置，其特征在于包括：一个壳体；一个超音波清洗部，其设于该壳体上，该超音波清洗部具有一个清洗槽部及一个超音波振动部，该清洗槽体装设有用以清洗基板的预定清洗液体，而该超音波振动部能产生超音波而使该清洗槽体产生振动；又，该超音波振动部具有一个用以启动及停止该超音波振动部运作的超音波振动开关；一个薄膜成形部，其设于该壳体上，该薄膜成形部具有一个置放空间及一个温度控制部，该置放空间装设有用以浸泡该基板而于该基板表面链结而形成一层分子薄膜的预定溶液，而该温度控制部控制该预定溶液的温度，又该温度控制部具有一个温度调整部；以及一个用以控制该超音波清洗部及该温度控制部运作时间的时间控制部，设于该壳体上，又该时间控制部具有一个时间调整部。