发明名称 |
热转化连接装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种热转化连接装置,该种装置包括腔室、热交换器;所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接,第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体,第三水管设于所述第一阀体的上端和第二阀体的下端连通第一水管和第二水管,第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管,所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。所述装置控制阀体动作,通过第三水管、第四水管提供相反水流的循环水可以防止长时间同一方向流动产生水垢,降低热转化连接装置水流故障,降低更换成本,减少劳动力。 |
申请公布号 |
CN202094104U |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201120233146.2 |
申请日期 |
2011.07.04 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
顾少博;张恒 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种热转化连接装置,包括腔室、热交换器,所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接,第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体,其特征在于:还包括第三水管设于所述第一阀体的上端和所述第二阀体的下端连通第一水管和第二水管,第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管,所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |