硅杯腐蚀夹具

摘要

本发明涉及一种硅杯腐蚀夹具，其包括安装块，所述安装块的中心区设有腐蚀孔，安装块的一端凸设有定位块，所述定位块与安装块间形成台阶；所述安装块对应于设置定位块的端部设有压板，所述压板上设有顶板，所述顶板上设有压片，所述压片与定位块相紧固连接；顶板与压板相紧固连接。本发明通过顶板、压板及压片与安装块的对应配合，将圆片放置在安装块与压板间，圆片端部边缘设置密封圈，能够对圆片边缘进行有效保护。压板上设有第二连接块，使压板与圆片的接触面积减小，形成软解触，避免圆片的损伤。结构简单，保护成本低，保护效果好，安全可靠。

主权项

一种硅杯腐蚀夹具，包括安装块(1)，所述安装块(1)的中心区设有腐蚀孔(3)，安装块(1)的一端凸设有定位块(19)，所述定位块(19)与安装块(1)间形成台阶；其特征是：所述安装块(1)对应于设置定位块(19)的端部设有压板(6)，所述压板(6)上设有顶板(7)，所述顶板(7)上设有压片(12)，所述压片(12)与定位块(19)相紧固连接；顶板(7)与压板(6)利用压板紧固螺栓(10)相紧固连接；所述压板(6)的端部凸设有第二连接块(15)；所述安装块(1)与压板(6)间设有圆片(17)；所述圆片(17)对应于与安装块(1)相接触的表面设有第四密封圈(18)；所述安装块(1)与圆片(17)相对应的内壁设置密封槽(2)；第四密封圈(18)嵌置在密封槽(2)内；所述第四密封圈(18)位于圆片(17)的边缘；所述第二连接块(15)与压板(6)间形成台阶。