多层分级纳米结构有序孔薄膜型气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层分级纳米结构有序孔薄膜型气敏传感器及其制备方法。传感器为衬底、电极及覆于其上的由两层以上的、呈紧密的六方排列并相互连通的球形孔状的半导体氧化物构成的厚度为200nm～10μm的气敏薄膜，球形孔的孔径为100～5000nm，其于层间为大小相间结构，层间的孔径大小比为1.5～10∶1；方法为：(a) 先将不同球径的单层胶体晶体模板浸入浓度为0.05～0.2M的半导体氧化物前驱体溶液中，待其脱离基底漂浮在前驱体溶液的表面，用所需形状的带有电极的衬底分次捞起单层胶体晶体中之一，并置于80～120℃下加热1～4h；(b) 将其置于350～550℃下退火1～4h，制得多层分级纳米结构有序孔薄膜型气敏传感器。它可广泛地用于环境监测、化学工业等众多领域。

主权项

一种多层分级纳米结构有序孔薄膜型气敏传感器，包括衬底和电极，以及覆于其上的气敏薄膜，其特征在于所说气敏薄膜由两层以上的、呈紧密的六方排列并相互连通的球形孔状的半导体氧化物构成，所说球形孔的孔径为100～5000nm，其于层间为大小相间结构，层间的孔径大小比为1.5～10∶1，所说气敏薄膜的厚度为200nm～10μm。