| 发明名称 | 防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物，通过含有极性有机溶剂（A）、有机胺化合物（B）以及由芳香族多羟基化合物和糖类的组合构成的防腐蚀剂（C）的该防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物，从而在宽泛的温度区域内并且在水存在条件下及不存在条件下对铜和铝这两者均表现出优异的防腐蚀效果。 | ||
| 申请公布号 | CN102301282A | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN200980155620.X | 申请日期 | 2009.10.22 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 山崎勇人;藤冈东洋藏 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 孙秀武;高旭轶 |
| 主权项 | 防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物，其含有极性有机溶剂（A）、有机胺化合物（B）以及防腐蚀剂（C），所述防腐蚀剂（C）由芳香族多羟基化合物和糖类的组合构成。 | ||
| 地址 | 日本东京都千代田区丸之内３丁目１番１号 | ||