基于机器视觉对准的高精度对准标记结构

摘要

本实用新型公开了一种基于机器视觉对准的高精度对准标记结构，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构的外型结构呈非对称型，非对称型包括非轴对称和非中心对称，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构至少包含一个线条并行排列的线条阵列，线条阵列中线条的宽度和线条之间的线缝不同，线条阵列中的线条错开排列。本实用新型降低因为光学临近效应和刻蚀精度控制等工艺因素对对准标记图形成像质量的影响，以提高对位精度和对位效率。

主权项

一种基于机器视觉对准的高精度对准标记结构，其特征在于，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构的外型结构呈非对称型，非对称型包括非轴对称和非中心对称，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构至少包含一个线条并行排列的线条阵列，线条阵列中线条的宽度和线条之间的线缝不同，线条阵列中的线条错开排列。