发明名称 泄液装置
摘要 本实用新型公开了一种泄液装置。这种泄液装置用于连接排风管和排液管,其包括套管、活动挡板和挡板护栏,所述排风管的部分管段穿设于所述套管内部,所述挡板护栏固设于所述套管内部,所述挡板护栏和所述排风管具有一间隔空间,所述活动挡板位于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内,所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积。本实用新型相对现有的排风管和排液管直接相连的方式,不但可以实现排液的功能,而且可以在很大程度上防止排液管内的气体流入排风管内,确保排风管的负压正常和保证排风管不受腐蚀性气体侵蚀。
申请公布号 CN202091711U 申请公布日期 2011.12.28
申请号 CN201120200051.0 申请日期 2011.06.14
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 刘铁柱
分类号 F16L55/07(2006.01)I 主分类号 F16L55/07(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种泄液装置,用于连接排风管和排液管,其特征在于,包括套管、活动挡板和挡板护栏,所述排风管的部分管段穿设于所述套管内部,所述挡板护栏固设于所述套管内部,所述挡板护栏和所述排风管具有一间隔空间,所述活动挡板位于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内,所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积。
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