| 发明名称 |
ATOMIC LAYER DEPOSITION APPARATUS AND LOADING METHODS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2310553(A4) |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
| 申请号 |
EP20090802548 |
申请日期 |
2009.07.07 |
| 申请人 |
PICOSUN OY |
发明人 |
LINDFORS, SVEN;POUTIAINEN, JUHA ALLAN KUSTAA-ADOLF |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/02;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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