发明名称
摘要
申请公布号 JP4844403(B2) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 JP20070010793 申请日期 2007.01.19
申请人 发明人
分类号 H03H11/04;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H03H11/04
代理机构 代理人
主权项
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