滤色片基板检查方法及检查装置

摘要

本发明涉及一种检查方法及装置，从导电性的观点出发检查液晶显示装置上附着的异物。该方法检查液晶显示装置用的基板上附着的异物中是否含有金属元素，每隔检查对象的上述基板的规定张数对不存在异物的部位测定1次预先测定的比较用荧光X射线光谱和上述基板的异物所附着的1个或多个部位的荧光X射线光谱，对多个X射线光谱进行数据处理，从而高精度地判定上述异物是否含有金属元素。

主权项

一种检查方法，检查液晶显示装置用的基板上附着的异物中是否含有金属元素，其特征在于，包括以下步骤：测定上述基板的异物所附着的部位的荧光X射线光谱，在与上述比较用光谱进行了比较的基础上，判定上述异物是否含有金属元素，并且使用上述比较用光谱对被判别为不含有金属异物的部位的单独或者多个数据进行处理，从而使基板固有的荧光X射线光谱高精度化，提高金属异物的检查精度和检查速度。