一种抛光机

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种抛光机。该抛光机包括：其具有上盘和下盘，上盘的下表面安装晶片，与上盘对应的下盘一侧的机身位置上安装喷水冲洗装置，喷水冲洗装置自动冲洗晶片。本实用新型提供的抛光机，采用机械装置自动冲洗晶片，可有效解决人工清洗方式带来的成本高，清洁效果低下的问题，操作起来方便、高效，可最大程度地提高晶片抛光面的洁净度。

主权项

一种抛光机，包括：所述抛光机具有上盘和下盘，所述上盘的下表面安装晶片，其特征在于，与所述上盘对应的下盘一侧的机身位置上安装喷水冲洗装置，所述喷水冲洗装置自动冲洗晶片。