基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法

摘要

一种用于光刻机空间像的波像差检测的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明的优点在于根据空间像传感器角度响应的特点，给出了一种有效的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明通过空间像传感器角度响应的测量，精确地建立空间像传感器角度响应模型，可以有效地提高基于空间像的波像差检测技术的求解精度与求解重复性。

主权项

一种用于光刻机空间像的波像差检测的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，该方法利用的测量系统包括用于产生照明光束的光源(1)、能调整照明光束的束腰、光强分布、部分相干因子和照明方式的照明系统(2)、掩模台(3)、投影物镜(4)、能精确定位的六维扫描工件台(5)、安装在该六维扫描工件台(5)上的空间像传感器(6)以及与工件台相连的数据处理计算机，其特征在于本方法包括以下步骤：(1)设置极中心相干因子为σmin，极相干半径因子为r，投影物镜的数值孔径为NA，照明方式为X方向二极照明或Y方向二极照明；启动光刻机，光源发出的照明光束经照明系统调整后得到相应的照明方式，并照射到掩模台上，掩模台上不放置掩模标记，空载运行，利用空间像传感器重复多次测量经投影物镜汇聚的光强值，将结果输入所述计算机储存；增加照明系统的极中心相干因子，增加量为δ，σ＝σmin+δ，直至极中心相干因子增加到σmax，每改变一次照明条件，利用空间像传感器重复多次测量经投影物镜汇聚的光强值，将结果输入所述计算机储存；(2)计算每个照明条件下空间像传感器重复多次测量所测得的光强平均值Iσ，并令衍射光的空间频率fx＝σ，拟合空间频率fx同光强平均值Iσ之间的关系，得到关系式，并求得拟合参数，得到空间像传感器的角度响应曲线。