发明名称 用于多晶铸锭炉的气体冷却装置
摘要 本实用新型涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本实用新型通过在热场底部增加一个主动散热的气体冷却装置,并通过调节通入装置内的气体流量控制主动散热幅度,能够主动的控制晶体下方散热速率,有效控制晶体生长速度。
申请公布号 CN202090106U 申请公布日期 2011.12.28
申请号 CN201120040603.6 申请日期 2011.02.17
申请人 上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 发明人 傅林坚;曹建伟;石刚;叶欣;高宇;邱敏秀
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人 金祺
主权项 一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置,设于铸锭炉内热场下方,其特征在于,该气体冷却装置是内部带有气流通道的石墨体。
地址 310023 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号