发明名称 | 用于多晶铸锭炉的气体冷却装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本实用新型通过在热场底部增加一个主动散热的气体冷却装置,并通过调节通入装置内的气体流量控制主动散热幅度,能够主动的控制晶体下方散热速率,有效控制晶体生长速度。 | ||
申请公布号 | CN202090106U | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
申请号 | CN201120040603.6 | 申请日期 | 2011.02.17 |
申请人 | 上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 | 发明人 | 傅林坚;曹建伟;石刚;叶欣;高宇;邱敏秀 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I |
代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人 | 金祺 |
主权项 | 一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置,设于铸锭炉内热场下方,其特征在于,该气体冷却装置是内部带有气流通道的石墨体。 | ||
地址 | 310023 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号 |