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发明名称 Preliminary spout apparatus for slit coater
摘要
申请公布号 KR101099007(B1) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 KR20050041494 申请日期 2005.05.18
申请人 发明人
分类号 B05C5/02;H01L21/027;B05C11/10 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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