发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD FOR TREATING THEREOF
摘要
申请公布号 KR101098981(B1) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 KR20090112091 申请日期 2009.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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