扩径管型等离子体生成装置

摘要

本发明的目的是提供一种有效率地除去混入到等离子体中的微滴，而且能够简单并且廉价地构成微滴除去部，可望由高纯度等离子体提高成膜等的表面处理精度的等离子体生成装置。在等离子体行进路(5)中配置用来除去在产生等离子体时从阴极(4)副生的微滴的微滴除去部。该微滴除去部由形成等离子体行进路(5)的扩径管(3)、与扩径管(3)的等离子体导入侧始端连接的导入侧缩径管(34)、与扩径管(3)的等离子体排出侧终端连接的排出侧缩径管(39)和形成在扩径管(3)的始端及终端的阶梯部(40)构成。

主权项

一种等离子体生成装置，所述等离子体生成装置具备在真空环境下进行真空电弧放电而产生等离子体的等离子体产生部，和供所述等离子体产生部产生的等离子体向被等离子体处理部侧行进的等离子体行进路，其特征在于，在所述等离子体行进路配置用来除去在产生等离子体时从阴极副生的阴极材料粒子即微滴的微滴除去部，该微滴除去部由扩径管、与所述扩径管的等离子体导入侧始端连接的导入侧缩径管、与所述扩径管的等离子体排出侧终端连接的排出侧缩径管，和形成在所述扩径管的所述始端及所述终端的阶梯部构成，所述导入侧缩径管及/或所述排出侧缩径管的管轴相对于所述扩径管的管轴以规定弯曲角倾斜配置，所述导入侧缩径管及/或所述排出侧缩径管与所述扩径管连接，在所述扩径管的外周配设有直行磁场产生器，于所述导入侧缩径管及/或所述排出侧缩径管的外周配设有磁场产生器。