大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法和消声器

摘要

大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法和消声器，针对非线性、高声强声源，采用线性化处理，先使得低频噪声的一部分能量升到高频段，再采用阻、抗复合的方式衰减声能；然后合理搭配消声单元，达到最佳消声效果。本发明在不改变罗茨真空泵结构的条件下增加相应的非线性消声器，降低大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的基频噪声。

主权项

大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法，其包括如下步骤：1)涡流缓冲与压力平衡对罗茨真空泵的噪声通过一个平衡腔，降低压差和流速，实现声波过程的线性化；2)小孔喷注、升频以气体通过小孔喷注，将上述线性化的声波中的基频能量耦合成高频分量，实现升频；3)微孔阻尼声波通过小孔构成的阻尼系统，一部分声波能量被转化成热，实现阻性消声；4)基频及倍频消声声波通过由扩张管和内插管构成基频及倍频消声单元，实现抗性消声；5)微孔阻尼声波通过小孔构成的阻尼系统，一部分声波能量被转化成热，实现阻性消声；6)基频及倍频消声声波通过由扩张管和内插管构成的基频及倍频消声单元，实现抗性消声；7)二级稳压声波通过第二平衡腔二次稳压，实现内外气体的压差进一步降低；8)基频及倍频消声声波再次通过由扩张管和内插管构成基频及倍频消声单元，实现基频及倍频的二次抗性消声。