发明名称 |
柔性基板位置控制设备 |
摘要 |
一种处理设备中的柔性基板位置控制设备(100),该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板(1),并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理,它设置有:一对夹持辊(131,132),夹持基板的上边缘;支撑机构(140),可旋转地支撑一对夹持辊,同时允许这些辊彼此互相接触和分离;施力装置(150),用于经由支撑机构向一对夹持辊施加压力;以及调节装置(160),用于调节由施力装置施加的压力。一对夹持辊具有倾斜度,其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘,且一对夹持辊由支撑机构支撑,以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。柔性基板位置控制设备能够抑制带状柔性基板的下垂和皱纹的出现,并且在实现高质量的处理同时,能够处理柔性基板在相反方向上的传输。 |
申请公布号 |
CN102300796A |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201080006303.4 |
申请日期 |
2010.01.08 |
申请人 |
富士电机株式会社 |
发明人 |
横山胜治;山田隆典;和田刚典 |
分类号 |
B65H23/025(2006.01)I;B65H23/038(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I |
主分类号 |
B65H23/025(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
张鑫 |
主权项 |
一种处理设备中的柔性基板位置控制设备,该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板,并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理,所述控制设备包括:一对夹持辊,夹持基板的上边缘;支撑机构,可旋转地支撑所述一对夹持辊,同时允许这些辊彼此互相接触和分离;施力装置,用于经由支撑机构向所述一对夹持辊施加压力;以及调节装置,用于调节由施力装置施加的压力,其中,所述一对夹持辊具有倾斜度,其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘,且所述一对夹持辊由支撑机构支撑,以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。 |
地址 |
日本神奈川县 |