基板分断装置

摘要

为了提供一种即便当作为分断对象的脆性材料基板为薄板，且以小间距进行分断时，也可以高精度定位分断位置的基板分断装置，其具备：基板支撑板(2)，形成着与脆性材料基板(1)的形状对应的方形的开口部(7)；弹性薄膜(4)，在基板支撑板(2)的上面覆盖开口部(7)；上分断棒(6a、6b)，以能够上下方向移动的方式配设在弹性薄膜(4)的上方，并沿着划线(11)进行分断；及下分断棒(5)，以能够上下方向移动的方式配设在弹性薄膜(4)的下方，并沿着划线(11)进行分断。使下分断棒(5)在形成着划线(11)一侧的相反侧沿着划线(11)压接，且由下分断棒(5)与第(1)上分断棒(6a)夹住脆性材料基板(1)，在此状态下利用上分断棒(6b)进行分断。

主权项

一种基板分断装置，将表面形成着划线的脆性材料基板沿着所述划线分断，其特征在于具备：基板支撑板，形成着与所述脆性材料基板的形状对应的方形的开口部；弹性薄膜，覆盖所述开口部而搭载于所述基板支撑板的上面，以固定所述脆性材料基板；第1上分断棒及第2上分断棒，以能够上下方向移动的方式配设在所述弹性薄膜的上方，并沿着所述划线进行分断；及下分断棒，以能够上下方向移动的方式配设在所述弹性薄膜的下方，并沿着所述划线进行分断；且使所述下分断棒在形成着所述划线一侧的相反侧沿着所述划线压接，且由所述下分断棒与所述第1上分断棒夹住所述脆性材料基板，在此状态下利用所述第2上分断棒进行分断。