发明名称 |
硬质涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件 |
摘要 |
本发明提供一种硬质涂层,形成于硬质基体表面上,该硬质涂层主要由钛-硅-氮三组元构成,该硬质涂层中钛原子的含量由靠近该基体至远离该基体的方向呈梯度减少,硅原子的含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。本发明还提供一种上述硬质涂层的制备方法及具有该硬质涂层的被覆件。 |
申请公布号 |
CN102296271A |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201010208780.0 |
申请日期 |
2010.06.24 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种硬质涂层,形成于硬质基体表面上,该硬质涂层主要由钛‑硅‑氮三组元构成,其特征在于:该硬质涂层中钛原子的个数含量由靠近该基体至远离该基体的方向呈梯度减少,硅原子的个数含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |