形状测量方法

摘要

根据本发明的形状测量方法，能使用具有接触式或非接触式探头的3维形状测量仪以与镜筒对应的透镜外周的圆柱面为基准求出透镜面的光轴的倾斜量、偏心量，以透镜外周部的圆柱面为基准在全方位都求出透镜的全部面(表面、背面、侧面)的形状，以透镜的表侧(或背侧)的光轴为基准算出透镜的背侧(或表侧)的光轴的偏心、高度偏移、斜度。

主权项

一种形状测量方法，其特征在于，利用探头沿被测量物的测量面进行扫描，根据通过所述探头取得的XYZ坐标，测量所述被测量物的3维形状，该探头沿Z轴方向可移动地支撑在沿相互正交的X轴和Y轴方向驱动的移动体上，所述被测量物是具有圆柱形状或多角柱形状的外周面和垂直于该外周面的平面上的曲面、而且具有与所述外周面平行地通过重心位置的中心轴的结构体，将所述被测量物同轴状地设置在具有被测量物固定部和配置在其周围的3个球状部的夹具上，使所述被测量物和夹具倾斜，以便对沿所述X轴、Y轴方向的XY平面，所述中心轴以规定的角度倾斜，使所述倾斜的被测量物和夹具围绕所述中心轴逐一旋转规定角度，在各旋转位置利用所述探头按规定路径扫描所述3个球状部和所述被测量物的外周面及其一侧的面，获取各球状部的测量数据和被测量物的测量数据群，由测量数据算出各旋转位置上的所述3个球状部的中心位置坐标值，用最小二乘方法进行拟合，从而将全部旋转位置上的被测量物的测量数据群以所述3个球状部为基准，在围绕所述中心轴的全周都进行分布，根据分布的测量数据群，求出所述被测量物的测量面的形状。