涂敷装置

摘要

本发明提供一种涂敷装置，在将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上的涂敷装置(100)中，具有基板保持移动机构(30)，其保持基板(K)并使该基板(K)循环移动，以使其依次位于基于涂敷头(7)的溶液的喷出作业位置、基于照相机(23)的拍摄作业位置、以及基于洗涤装置(26)的洗涤作业位置中的各位置。

主权项

一种涂敷装置，将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上，其特征在于，具备：检测机构，根据涂敷到基板上的溶液的液滴的涂敷状态，检测该液滴的喷出状态；洗涤机构，对涂敷有上述溶液的液滴的基板进行洗涤；以及基板保持移动机构，保持上述基板，并使该基板循环移动，以使该基板依次位于基于上述涂敷头的溶液的喷出作业位置、基于检测机构的检测作业位置、基于洗涤机构的洗涤作业位置中的各个位置。