温度检测装置、加热装置

摘要

提供一种控制大型的被加热对象基板的温度的技术。在加热室（6）的内部，在辐射加热机构（14）和被加热对象基板（12）对置的区域的侧方配置有温度检测装置（20）。加热装置（2）具有加热室（6）、辐射加热机构（14）、电源装置（25）、基板保持装置（11）、控制装置（15）和温度检测装置（20）。在控制装置（15）中内置有控制程序，通过控制程序控制电源装置（25）对辐射加热机构（14）的投入电力，使其发热，以使由温度检测装置（20）具有的热电偶（21）检测到的温度测量用基板（22）的温度成为设定温度。此外，在温度检测装置（20）中紧贴配置有循环路径（23），如果通过冷却装置（29）使冷媒流到循环路径（23）中，则能够将温度测量用基板（22）的温度从设定温度冷却到初始温度。

主权项

一种温度检测装置，在内部进行将被加热对象基板通过辐射加热的真空加热处理的真空槽中具有温度测量用基板、紧贴在上述温度测量用基板上而配置、在内部流过冷媒的循环路径、和设在上述温度测量用基板上、测量上述温度测量用基板的温度的温度传感器，构成为，当对上述温度测量用基板照射红外线时，检测上述温度传感器输出的温度，其特征在于，上述温度测量用基板和上述被加热对象基板由不同的材料构成。