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发明名称 MEASUREMENT SYSTEM, METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2006804(A) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 NL20112006804 申请日期 2011.05.18
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 COX, HENRIKUS;KOENEN, WILLEM;MATTAAR, THOMAS;PIETERSE, MARTINUS THEODORUS JACOBUS;VERKOOIJEN, ROB ANTONIUS ANDRIES
分类号 G03F7/20;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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