发明名称 |
太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线 |
摘要 |
太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线,其特征在于:所述生产线包括放卷装置、缝接装置、压辊装置、加热装置、溅射单元、抽气狭缝装置、托辊装置、冷却装置、隔离不同膜层工作气氛的狭缝装置、纠偏传输装置、保护膜复合装置和收卷装置;上述各个部分均置于真空室体中;真空室体还分别连接真空系统、充气系统和电控系统。本实用新型用狭缝隔离磁控溅射单元间不同膜层间工作气氛,各磁控溅射单元环境气氛稳定,重复性好,便于控制,镀膜质量优,适合卷对卷连续镀膜自动生产,生产效率高。 |
申请公布号 |
CN202090053U |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201120136465.1 |
申请日期 |
2011.05.04 |
申请人 |
金博新能源技术(香港)有限公司 |
发明人 |
张浙军;杨威力 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 |
代理人 |
宋铁军 |
主权项 |
太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线,其特征在于:所述生产线包括放卷装置(1)、缝接装置(2)、压辊装置(3)、加热装置(4)、溅射单元(5)、具隔离不同膜层工作气氛及抽气功能的抽气狭缝装置(6)、托辊装置(7)、冷却装置(8)、纠偏传输装置(9)、保护膜复合装置(10)和收卷装置(11);上述各个部分均置于真空室体(12)中;真空室体(12)还分别连接真空系统(13)、充气系统(14)和电控系统(15)。 |
地址 |
中国香港马宝道41-47号华宝商业大厦905室 |