多晶硅还原炉顶部出气装置

摘要

本实用新型公开一种多晶硅还原炉顶部出气装置，包括出气总管、设置在还原炉上的出气汇集管和连接出气汇集管与还原炉的出气支管。本实用新型通过在还原炉顶部设置出气装置，形成独特的工艺气体出气形式，改善了还原炉内部气体分布情况，特别是还原炉上方的气体分布情况，使硅料的生长更均匀，更致密，提高了硅料的产品质量，减少了生产中非正常停车的次数，提高了设备安全性和稳定性。

主权项

多晶硅还原炉顶部出气装置，其特征在于，包括出气总管、出气汇集管、连接出气汇集管与还原炉的出气支管。