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经营范围
发明名称
Ultra high speed uniform plasma processing system
摘要
申请公布号
EP1617457(B1)
申请公布日期
2011.12.28
申请号
EP20050014248
申请日期
2005.06.30
申请人
NORDSON CORPORATION
发明人
CONDRASHOFF, ROBERT S.;FAZIO, JAMES P.;GETTY, JAMES D.;TYLER, JAMES S.
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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