| 发明名称 | 用于传送基底的机械手及其末端执行器 | ||
| 摘要 | 一种基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括由纤维强化的塑料(FRP)制成的上板；由纤维强化的塑料(FRP)制成的下板；以及布置在所述上板与下板之间的中间构件，所述中间构件选自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料(FRP)。此外，公开了一种装备有上述末端执行器的基底传送机械手。 | ||
| 申请公布号 | CN101652852B | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN200880010805.7 | 申请日期 | 2008.04.02 |
| 申请人 | 纳幕尔杜邦公司 | 发明人 | I·于亚萨;Y·马鲁亚马;T·托基;I·富卡祖 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;B25J15/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 段晓玲;韦欣华 |
| 主权项 | 基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括：由纤维强化的塑料制成的上板；由纤维强化的塑料制成的下板；和布置在所述上板与下板之间的中间构件，所述中间构件包含选自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料的材料。 | ||
| 地址 | 美国特拉华州 | ||