发明名称 PROBE LIGHT SCANNING ACTUATOR
摘要
申请公布号 EP1233295(A4) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 EP20010951969 申请日期 2001.07.23
申请人 NHK SPRING CO., LTD. 发明人 TOMINAGA, JUN;FUKUMURA, TAKEO;EZURE, NOBUYA
分类号 G02B26/10;G01S7/481;G01S17/06;G02B26/12 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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