发明名称 |
高可靠厚膜混合集成电路键合系统及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种高可靠厚膜混合集成电路键合系统,其特征在于该键合系统是间接键合的键合系统,即在金键合区表面,先增加一层阻挡层金属薄膜,再增加一层可与硅-铝丝进行高可靠性键合的金属薄膜,形成多层过渡性薄膜,再在其上面进行硅铝丝键合的键合系统。本发明有以下特点:①改善厚膜金导带键合区与硅铝丝的键合性能。②可以在同一金导带键合区上形成局部镍键合区或铝键合区,同时兼容金丝键合、硅铝丝键合。③采用金属掩模定位套准、高真空淀积成膜技术,对厚膜基片无任何损伤作用。应用于以金导带或银导带为基片的所有厚膜混合集成电路,可提高混合集成电路的可靠性,在航空、航天、航海、通讯、工业控制等领域有广阔的应用空间。 |
申请公布号 |
CN101673693B |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN200910102792.2 |
申请日期 |
2009.09.22 |
申请人 |
贵州振华风光半导体有限公司 |
发明人 |
苏贵东;杨成刚;周正钟;殷坤文 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
贵阳中工知识产权代理事务所 52106 |
代理人 |
刘安宁 |
主权项 |
一种高可靠厚膜混合集成电路键合系统,其特征在于该键合系统是间接键合的键合系统,即在金键合区表面,先增加一层阻挡层金属薄膜,再增加一层可与硅‑铝丝进行铝‑铝键合、铝‑镍键合的金属薄膜,形成多层过渡性薄膜,再在其上面进行硅铝丝键合的键合系统;在同一金导带键合区上可形成局部镍键合区或铝键合区,形成双键合区,同时兼容金丝键合、硅铝丝键合。 |
地址 |
550018 贵州省贵阳市新添大道北段238号 |