流体喷射装置

摘要

本发明公开了一种在进行平板显示面板用基板的制造工序中的蚀刻或剥离作业时，可向基板均匀供给蚀刻用流体或剥离用流体的流体喷射装置。这种流体喷射装置包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在所述作业空间的多个喷射管；与所述喷射管相连接且通过连杆运动使所述喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使所述动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。

主权项

一种流体喷射装置，包括：具有作业空间的作业槽；具有用于喷射流体的多个喷嘴且相互隔开设置在所述作业空间上，并能够以管轴为中心旋转的多个喷射管；与所述喷射管相连接，并通过连杆运动使所述喷射管旋转，以改变所述多个喷嘴的喷射姿势的动力传递机构；为使所述动力传递机构做连杆运动而产生动力的驱动源，所述多个喷射管在基板输送区的前后两处相隔预定距离，且在所述基板的移动方向上排成一列，所述多个喷射管上的多个喷嘴呈“之”字型排列，所述动力传递机构包括：旋转盘，通过所述驱动源旋转；万向联轴节，其连接在脱离所述旋转盘中心的位置上；移动杆，其与所述万向联轴节连接，并做直线往返运动；连杆，用于将所述多个喷射管连接于所述移动杆，以使所述多个喷射管旋转预定角度，其中所述喷射管的两端分别插入并固定于设置在所述作业槽内部的支架的支承孔内，所述连杆的一端与所述移动杆铰接，另一端与所述喷射管的一端固定连接。