发明名称 |
纳米线隧穿晶体管 |
摘要 |
一种晶体管,其包括纳米线(22,22’),该纳米线(22,22’)具有被本征区或低掺杂区(26,28)分隔的源极(24)和漏极(29)。在本征区或低掺杂区(26,28)和源极(24)及漏极(29)中的一个的交界面处形成势垒。在该势垒的附近提供栅极电极(32),从而,通过将适当的电压施加至栅极电极(32)可调制该势垒的高度。 |
申请公布号 |
CN101375398B |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN200780003425.6 |
申请日期 |
2007.01.24 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
弗雷德·胡尔克斯;普拉巴特·阿加瓦尔 |
分类号 |
H01L29/06(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/06(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
一种晶体管,其包括纳米线(22,22’),该纳米线(22,22’)具有被本征区或低掺杂区(26,28)分隔的源极(24)和漏极(29),其中在本征区或低掺杂区(26,28)和源极(24)及漏极(29)中的一个的交界面处形成势垒,其中在势垒的附近提供栅极电极(32),从而通过向栅极电极(32)施加适当的电压能够调制势垒的有效高度和/或宽度,所述纳米线还具有势垒区(27),所述势垒区(27)位于所述源极(24)和漏极(29)之间的本征区或低掺杂区(26,28)的内部,在势垒区(27)和本征区或低掺杂区(26,28)的交界面处形成肖特基势垒。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |