| 发明名称 | 超声波除泡装置和涂布装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种超声波除泡装置和涂布装置，当需要去除气泡的试剂进入密封容器后，通过超声波发生装置将超声波发射至所述密封容器，利用超声波将气泡从所述试剂中分离出，通常是将氮气等一些气体从所述试剂中分离出。同时，利用密封容器上的气体出口将从试剂中分离出的，引起气泡的气体排出密封容器，避免分离出的气体再次与试剂结合而产生气泡。由此，解决了试剂中含有气泡的问题，当所述试剂为光阻试剂或者抗反射膜试剂时，由此，可提高光刻工艺的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN202087088U | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN201120160472.5 | 申请日期 | 2011.05.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 丁海涛 |
| 分类号 | B01D19/02(2006.01)I;B01J19/10(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | B01D19/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种超声波除泡装置，其特征在于，包括：密封容器，所述密封容器上设置有试剂入口、试剂出口和气体出口；设置于所述密封容器一侧的超声波发生装置，所述超声波发生装置能够将超声波发射至所述密封容器。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||