主权项 |
一种钙钛矿型缓冲层的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)将乙酰丙酮氧钛和含有1/2个结晶水的醋酸锶按照摩尔比为1∶1的比例进行称量,然后向醋酸锶中加入体积比为1~10∶1的丙酸和乙酰丙酮的混合溶剂溶解制得溶液A,向乙酰丙酮氧钛中加入2‑甲氧基乙醇溶解制得溶液B,再将上述溶液A和溶液B混合均匀,配制成乙酰丙酮氧钛和醋酸锶的摩尔浓度均为0.1mol/L~1.0mol/L的前驱液;(2)取部分步骤(1)中所述前驱液,向前驱液中加入体积比为1~10∶1的丙酸和乙酰丙酮的混合溶剂,再加入2‑甲氧基乙醇进行稀释,搅拌均匀后得到乙酰丙酮氧钛和醋酸锶的摩尔浓度均为0.003mol/L~0.05mol/L的前驱液;(3)将步骤(2)中稀释后的前驱液以2000转/分钟~5000转/分钟的速率旋涂于用丙酮超声清洗过的基底上,旋涂时间为10s~60s,然后将旋涂前驱液后的基底置于管式炉中,于低氧环境中,以不低于50℃/min的升温速率将炉内温度从室温加热至850℃~1100℃后保温0.1h~1h,再以不低于2℃/min的降温速率冷却至室温,得到SrTiO3形核层薄膜;所述低氧环境为质量纯度为99.999%的高纯Ar,或为氧质量含量为10‑10ppm~10‑3ppm的Ar‑H2混合气氛,或为氧质量含量为10‑10ppm~10‑3ppm的N2‑H2混合气氛;(4)将步骤(1)中所述前驱液以2000转/分钟~5000转/分钟的速率旋涂于步骤(3)中所述SrTiO3形核层薄膜上,旋涂时间为10s~60s,然后将旋涂前驱液后的SrTiO3形核层薄膜置于管式炉中,于低氧环境中,以不低于50℃/min的升温速率将炉内温度从室温加热至900℃~1100℃后保温0.5h~3h,再以不低于2℃/min的降温速率冷却至室温,得到钙钛矿型SrTiO3缓冲层;所述低氧环境为质量纯度为99.999%的高纯Ar,或为氧质量含量为10‑10ppm~10‑3ppm的Ar‑H2混合气氛,或为氧质量含量为10‑10ppm~10‑3ppm的N2‑H2混合气氛。 |