用于测量部件介电特性的装置

摘要

由导电材料形成的室连接于地电势。由导电材料形成的热电极置于该室内、在基本上横向方位上并与该室物理分隔。该热电极包括被限定为支撑待测部件的上表面。射频(RF)传输杆连接以通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割。该射频传输杆被限定为从电气组件外壳中的导体板向该热电极传输射频电力。由导电材料形成的上电极被置于该室内、在基本上横向方位上。该上电极电气连接于该室并被限定为可以在竖直方向上移动。

主权项

一种用于测量部件的介电特性的装置，包含：由导电材料形成的室，该室电气连接于地电势；在该室内以横向方位放置并与该室物理分隔的热电极，该热电极是由导电材料形成的并包括上表面，该上表面被限定为支撑待测部件；连接到该热电极的底部表面的射频(RF)传输杆，该射频传输杆被置为通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割，该射频传输杆被限定为向该热电极传输射频电力；以及在该室内以横向方位放置在该热电极上方的上电极，该上电极是由导电材料形成的并电气连接于该室，该上电极被限定为可以在该室内在竖直方向上移动。