CHARGED PARTICLE LITHOGRAPHY APPARATUS,申请号EP20100704819-传众专利搜索

发明名称	CHARGED PARTICLE LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号	EP2399270(A1)	申请公布日期	2011.12.28
申请号	EP20100704819	申请日期	2010.02.17
申请人	MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.	发明人	DE BOER, GUIDO;BALTUSSEN, SANDER;JAGER, REMCO;PEIJSTER, JERRY, JOHANNES, MARTINUS;TEEPEN, TIJS, FRANS;VAN NIEUWSTADT, JORIS, ANNE, HENRI;WEEDA, WILLEM, MAURITS;VAN VEEN, ALEXANDER, HENDRIK, VINCENT
分类号	H01J37/16;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/305;H01J37/317	主分类号	H01J37/16
代理机构		代理人
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